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等离子体

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cnBeta.COM 2025-06-29

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智慧生活笔记 2025-06-29

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金融界 2025-06-28

维尔威泰克申请通过电子波阵面的原子层刻蚀专利，提出使用精确受控的电子的晶片级波对衬底进行原子层蚀刻

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金融界 2025-06-28

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大壮和阿朵拉 2025-06-28

无锡华润上华申请半导体结构表面聚酰亚胺层去除及返工方法专利，提高去胶效果

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金融界 2025-06-28

上海集成电路装备材料产业创新中心申请一种半导体栅极刻蚀方法专利 使侧墙的均匀性大大提升

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金融界 2025-06-28

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金融界 2025-06-28

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金融界 2025-06-28

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金融界 2025-06-28

江苏鲁汶仪器申请温控介质窗及其形成、工作方法、等离子体刻蚀系统专利，降低介质窗内各部分之间的温差

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金融界 2025-06-28

里程碑式成就！地球最大核聚变装置的电磁系统完工

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粤语音乐喷泉 2025-06-28

江苏中羿智能仪器取得等离子体质谱仪联用接口装置专利，避免接口长期暴露在外遭受撞击损害

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金融界 2025-06-27

江丰电子申请钛靶材和铜背板靶材组件中反溅射面的表面处理方法专利，显著降低溅射过程中出现反溅射颗粒脱落的风险

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金融界 2025-06-27

微波等离子体cvd技术引领工业领域新变革

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沃特塞恩微波源 2025-06-27

三三零半导体取得微波等离子体化学气相沉积生长基台升降装置专利，提高装置的稳定性

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为何半导体晶圆设备中常用PEEK卡塞？

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DWI德赢创新 2025-06-27

中微半导体申请在衬底上形成空腔结构工艺方法专利，解决传统工艺难以在衬底上获得上端带连接桥空腔结构问题

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金融界 2025-06-27

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细美事申请基板处理装置专利，能够抑制线圈模组的发热且精密的磁场控制

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金融界 2025-06-27

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金融界 2025-06-27

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